名稱

內(nèi)容

測量

范圍

Z軸

（垂直）

160μm

X軸

（水平）

17.5mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

測量

項目

參數(shù)

Ra   Rz==Ry(JIS)   Rq    Rt==Rmax 

Rp   Rv   R3z     R3y   Rz(JIS)

Rs   Rsk   Rku    Rsm   Rmr

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量

約300g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~  40℃

濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃  ~   60℃

濕度：< 90% RH

參    數(shù)

顯 示 范 圍

Ra,Rq

0.005μm  ~  16μm

Rz,R3z,Ry,Rt,Rp,Rm

0.02μm  ~  160μm

Sk

S,Sm

1mm

tp